昙曜，西域人，约生于公元410年。少出家，随着佛教东传，来到北凉，以禅业知名于时。太延五年（439）北魏灭北凉，徙凉州民三万余家于京城，沙门佛事皆随之而来。昙曜来到平城后，为太子恭宗礼遇。太平真君七年（446）太武灭佛，“沙门无少长悉坑之”，昙曜“誓欲守死”，太子恭宗延缓灭佛令，亲自劝喻，至于门再三，不得已，乃止。昙曜密持法服器物，一刻也不离身，在恭宗的劝导和保护下，离开平城，逃亡于山泽，后到中山（河北定县）。文成复法后，于兴安二年（453）昙曜受命由中山回京，正值文成帝出巡，在路上相遇，御马衔住昙曜僧服，当时人们认为是“马识善人”，文成帝将他奉为法师。

昙曜向文成帝建议，于京城西武州塞，凿山石壁，开窟五所，镌建佛像各一，文成帝欣然同意。在他的主持下，开始了石窟寺的建造，“凿石开山，因崖结构，真容巨壮，世法所稀”，“高者七十尺，次者六十尺，雕饰奇伟，冠于一世”。

和平初年（460）道人统师贤卒，由昙曜代之，更名沙门统。为解决庞大的寺院管理问题，昙曜创立了寺院经济制度，建立僧祇户、佛图户，向寺院输粟，以供寺院洒扫，使以云冈为代表的寺院经济迅速膨胀。

和平三年（462），昙曜针对太武灭佛时佛经被焚、所剩无几的状况，主持在云冈石窟内集诸高僧译经，参加译经的有天竺沙门常那邪舍等10多人及刘孝标等人。译出新经14部之多。有《付法藏经》、《因缘经》、《杂宝藏经》、《称扬诸佛功德经》、《方便心论》、《八大乘论》、《大吉义神咒经》、《净度三味经》、《净土经》等。

昙曜任沙门统达30余年，一直从事造像、译经和寺院管理。在孝文帝迁洛前圆寂。昙曜是云冈石窟的创始人，是寺院经济制度的开创者，是石窟寺译经的开山祖师。如今云冈石窟第16～20窟仍以他的法名命名，称“昙曜五窟”